11月28日，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司公開了其最新的光刻機(jī)相關(guān)專利。 K(<P" g(  
:C6rN}_k  
據(jù)天眼查顯示，上海微電子公開的專利名為“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”。申請日期是2022年5月19日，公布日期是​2023年11月28日。 6D(m8  
)ix