11月28日，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司公開了其最新的光刻機(jī)相關(guān)專利。 }!Diai*C  
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據(jù)天眼查顯示，上海微電子公開的專利名為“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”。申請(qǐng)日期是2022年5月19日，公布日期是​2023年11月28日。 O{i_?V_  
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