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上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”專(zhuān)利公布

發(fā)布：cyqdesign 2023-11-28 11:50 閱讀：1171
11月28日，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司公開(kāi)了其最新的光刻機(jī)相關(guān)專(zhuān)利。 b ^ ly  
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據(jù)天眼查顯示，上海微電子公開(kāi)的專(zhuān)利名為“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”。申請(qǐng)日期是2022年5月19日，公布日期是​2023年11月28日。 dnNC = siY  
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天眼查專(zhuān)利頁(yè)面截圖
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