上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機”專利公布

發(fā)布：cyqdesign 2023-11-28 11:50 閱讀：1172

11月28日，上海微電子裝備（集團）股份有限公司公開了其最新的光刻機相關(guān)專利。

據(jù)天眼查顯示，上海微電子公開的專利名為“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機”。申請日期是2022年5月19日，公布日期是2023年11月28日。

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