摘要
.&z/p3 1 (tZ#EL0 hbZ]DRg ^pI&f{q 對(duì)于許多
光學(xué)應(yīng)用來說需要減少表面反射?刂票砻娣瓷涞囊环N非常有效的方法是使用抗反射的
納米或微米
結(jié)構(gòu),啟發(fā)來源于自然界(蛾眼)。這些具有亞
波長范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長和
角度依賴性的獨(dú)特性質(zhì)。在本文中,介紹了
VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)。
Oup5LH!sW "h@|XI 設(shè)計(jì)任務(wù)
x"N{5 \o|5/N s,5SWdb\v ?(C(9vO 如何
優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的
參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射?
+jpaBr-O# CsJ38]=Mt 掃描參數(shù)空間以獲取初始解
tx$i( l7{]jKJue +&AKDVmx C(w?`]Qs 初始解#1的參數(shù)優(yōu)化
BIu%A]e" It5U=PU n jfh4}g: /KL;%:7 最終設(shè)計(jì)#1的性能分析
A~2U9f+\ }JP0q m=saUhI*9 t