摘要
x>*#cOVz;C O\ph!?L 白光
干涉測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù)，用于精確測(cè)量，例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜
干涉儀設(shè)置和氙燈
光源，在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測(cè)量�？紤]到光源的
光譜特性，即有限的相干長(zhǎng)度，結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個(gè)臂的路徑長(zhǎng)度幾乎相同時(shí)才出現(xiàn)干涉圖案。
0VwmV_6'<W 02 6 |u|R !a<}Mpeg 1. 建模任務(wù)
$5S/~8g( o%V%@q H 2. 干涉條紋的變化
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