摘要 N)P((>S;  
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白光干涉測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù)，用于精確測(cè)量，例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設(shè)置和氙燈光源，在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測(cè)量�？紤]到光源的光譜特性，即有限的相干長(zhǎng)度，結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個(gè)臂的路徑長(zhǎng)度幾乎相同時(shí)才出現(xiàn)干涉圖案。 & L3UlL  
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1. 建模任務(wù)  'X|v+?  
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