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    [技術]具有變化周期的亞波長光柵成像 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-12-20
    摘要 59X XmVg  
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    當用近軸光照明時，亞波長光柵僅產生一個衍射級，因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題，可以使用非傍軸照明。如在此示例中，采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明，并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程，包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進行嚴格模擬。 l,UOP[j  
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    1. 建模任務 xO4""/ n  
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    2. 結果 `4ti?^BNm  
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