為什么要在高真空條下
鍍膜?
,.V<rDwN& 答案 Z : xb8]y 1、真空狀態(tài)下,膜料的熔點(diǎn)溫度和蒸發(fā)溫度要比在大氣狀態(tài)下低得多。對(duì)高熔點(diǎn)的氧化物膜料,在真空狀態(tài)下其熔點(diǎn)要低得多。也就容易到蒸發(fā)溫度而不需太高的能量。
5psJv|Zo] 2、真空狀態(tài)下,真空室中空氣極少,膜料分子從蒸發(fā)源到達(dá)基片表面的路程中幾乎不與殘留在真空室中的氣體分子碰撞,即分子自由程長(zhǎng)。膜料容易沉積在基片上。
v6=%KXSF 3、由于真空室中氣體分子少,因而氧分子、硫分子等化學(xué)活潑分子也少,高溫狀態(tài)的膜料分子就不會(huì)與之發(fā)生化學(xué)變化,從而保證膜層的膜料純度。
[:gg3Qzx u*I'c2m 在鍍膜之前為什么要預(yù)熔
材料?
46e?%0( %bF157X5An 在鍍膜之前要把材料預(yù)熔透徹,主要是為了材料進(jìn)行放氣,消除材料中其它成份,保持鍍膜不產(chǎn)生飛濺和保持真空度穩(wěn)定。
umq6X8K n&P~<2^M# 鍍膜過程中產(chǎn)生雜質(zhì)的原因和對(duì)策?
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