光束整形(Beam Shaping)是一種利用光束控制技術來改變光束的形狀和特性的過程。隨著
激光技術的不斷發(fā)展,激光的應用也越來越廣泛,但是在
半導體光刻、激光印刷、激光加工、
光學信息處理等領域中,都對激光光束的均勻性有著一定的要求。然而
激光器諧振腔輸出的光束呈高斯分布,這一特性使其往往不能被直接使用,需要通過光束整形來提高均勻性,以滿足應用的需求。目前激光光束整形方法主要包括光闌法、場映射法和多孔徑光束聚焦法。
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~[ -[.A6W 一、光闌法
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