摘要
;k9s@e#a {I@@i8)] 分析特定
衍射級的衍射效率是
光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光
波長相當(dāng)，因此必須通過嚴(yán)格的方法計(jì)算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。
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"e&S*8QhM sG%Q?&- 光柵規(guī)格
']Nw{}eS` ";J1$a •為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。
Y@c! \0e$ •操作中的層，提供高反射（HR）功能。
l=Jbu c •光柵
參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。
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9} :n ;4z6="< Y 光柵級次分析器設(shè)置
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VxU $Dxz21|P7 •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級次分析器計(jì)算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。
]>b.oI / •此外，各種輸出選項(xiàng)可用于顯示結(jié)果。
JY(_}AAu •這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊
光學(xué)設(shè)置視圖中的相應(yīng)元件顯示。
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G[)Ll= Q$iYhR 通用設(shè)置
[;7&E{,C ?i>.<IPOq •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，您可以選擇分析透射或反射。
l`:M/z6" •此外，您可以指定光柵分析器輸出需要的文件。
Q0Y0Zt,h −級次收集：生成一種類型的文檔，該文檔提供視場/光強(qiáng)在級次中的分布方式的可視化表示，并包含以數(shù)字形式顯示的信息。級次收集是為傳輸和反射單獨(dú)生成的。有關(guān)級次收集文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。
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ME/r −單級次輸出：激活菜單右側(cè)的“單級次”選項(xiàng)卡。（見下頁）
DB We>Ef( −總和傳輸，吸收和反射：相應(yīng)的信息（即，能量在這三種效應(yīng)中如何分布，不進(jìn)一步將結(jié)果細(xì)分為單個(gè)光柵級次，而是作為總值）將顯示在探測器結(jié)果選項(xiàng)卡中，或作為參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)
優(yōu)化的結(jié)果。
6 wYd)MDLL −極坐標(biāo)圖（角度）：生成另一個(gè)文檔，該文檔提供不同顯示光柵級次的可視化，其中顯示的角度對應(yīng)于級次的衍射角，半徑表示效率。這種類型的可視化僅限于單個(gè)平面。有關(guān)極坐標(biāo)圖文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。
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puV(eG ZxlQyr`~a( 單級次設(shè)置
U!r2`2LY u7=`u/ •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中選擇“單級次輸出”選項(xiàng)時(shí)，激活“單級次”選項(xiàng)。您可以在其中選擇應(yīng)記錄的單級次信息。
QmvhmsDL •單級次輸出控制是否提供有關(guān)單個(gè)級次（衍射角、效率、瑞利系數(shù)…）的信息（取決于
模擬的運(yùn)行方式，在探測器結(jié)果選項(xiàng)卡中，或作為參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化的結(jié)果）。
YLVIn_\} •如果您想使用參數(shù)運(yùn)行或VirtualLab Fusion的參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定級次的光柵，此選項(xiàng)非常有用。
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c:.k2u G1K5J`"* 單級次設(shè)置
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C:\BvPoO ]x8 ^s 探測器選項(xiàng)卡中的輸出
y*0bHzJ 9XImgeAs •如果光柵級次分析器在光學(xué)設(shè)置中處理，則單階輸出值記錄在探測器結(jié)果選項(xiàng)卡中。
r K;F]ei •這些值在參數(shù)運(yùn)行和參數(shù)優(yōu)化中也可用。
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