摘要
u\wdb^8ds gF-<%<RV 分析特定
衍射級的衍射效率是
光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光
波長相當(dāng)，因此必須通過嚴(yán)格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。
"[2CV!_ ~T@t7Cg 
m^0r9y, 4 YDK`:4I~ 光柵規(guī)格
PtCO';9[ g\S@@0T{0 •為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。
r8g4NsRVtv •操作中的層，提供高反射（HR）功能。
=F'p#N0_2 •光柵
參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。
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AZ~<e\ HM57b>6 
A'r 3%mC psyxNM=dN# 光柵級次分析器設(shè)置
kP~'C'5Ys 59mNb:< •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級次分析器計算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。
oJa6)+b(3 •此外，各種輸出選項可用于顯示結(jié)果。
bwo-9B •這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊
光學(xué)設(shè)置視圖中的相應(yīng)元件顯示。
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