三星“集成電路器件”專利公布據(jù)國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告,三星電子株式會(huì)社取得一項(xiàng)名為“集成電路器件”的專利,授權(quán)公告號(hào)CN110890363B,申請(qǐng)日期為2019年6月。 專利摘要顯示,一種集成電路(IC)器件可以包括:鰭型有源區(qū),從襯底突出并沿第一水平方向延伸;第一納米片,設(shè)置在鰭型有源區(qū)的上表面之上,其間具有第一分離空間;第二納米片,設(shè)置在第一納米片之上,其間具有第二分離空間;柵極線,在與第一水平方向交叉的第二水平方向上在襯底上延伸,柵極線的至少一部分設(shè)置在第二分離空間中;和底部絕緣結(jié)構(gòu),設(shè)置在第一分離空間中。 |