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    [技術(shù)]TRCX應(yīng)用：顯示面板工藝裕量分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 03-04
    制造顯示面板的主要挑戰(zhàn)之一是研究由工藝余量引起的主要因素，如CD余量，掩膜錯位和厚度變化。TRCX提供批量模擬和綜合結(jié)果，包括分布式計算環(huán)境中的寄生電容分析，以改善顯示器的電光特性并最大限度地減少缺陷。 7zcmv"`  
    R}E$SmFg  
    （a）參照物
    9~5LKg7Ac  
    o5;|14O  
    （b）膜層未對準(zhǔn)
     
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