摘要
TC44*BH q Mis B&Ok`k F-Theta
透鏡通常用于Galvo類掃描儀的
激光材料加工
系統(tǒng)。 對于這樣的
鏡頭，聚焦點沿目標平面的位移與鏡頭
焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，沒有完美的 F-Theta 系統(tǒng)，因此在任何給定的系統(tǒng)中都會出現(xiàn)與理想行為的偏差。 借助快速物理
光學建模和設計
軟件 VirtualLab Fusion 中的掃描源，我們通過測量不同角度下實際光斑位置與期望值之間的偏差來分析給定 F-Theta 透鏡的性能。
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