這是一個簡單的二維
光柵的例子,具有雙重周期(六方)晶格。
三維單元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含兩個不同的菱形(平行六面體),位于襯底上,被背景
材料包圍。我們選擇了一個直角線單元晶胞(最小原始單元格)來避免
結(jié)構(gòu)的計算域邊界的不利切割。案例中的材料選擇為鉻(菱形),
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
#3!l6] DQ'yFPE 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當
波長為193nm時,平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度
laVqI|0q R2ue