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摘要 T%b^|="@
':fbf7EL<
 nFOG=>c} X>YOo~yS5 干涉測量法是一項用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機(jī)械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例，在非序列場追跡技術(shù)的幫助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 Jrrk$0H^~
HCCp<2D"C 建模任務(wù) trA `l/
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 o ieLh"$ X%qR6mMfT7 由于組件傾斜引起的干涉條紋 `9)2nkJk'z
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