摘要
*Q51'?y qxd{c8 斐索
干涉儀是工業(yè)中常見的
光學計量設備,它們通常用于光學表面質(zhì)量的高
精度測試。 借助
VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。
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QC ?8 B-M|}T 建模任務
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6jF~zI^ ?nUV3#6{ 傾斜平面下的觀測條紋
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圓柱面下的觀測條紋
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|#!25qAT 9(u2jbA 球面下的觀測條紋
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