摘要 H575W"53  
/_qq(,3  
掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測(cè)量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測(cè)量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測(cè)量表面平滑變化的樣品。 hbx4[Pf  
O68-G   

圖片:1-191209152110491.png

kx;X:I(5&P  
~k?rP}>0  
建模任務(wù) S"h;u=5it  
ct3i^,i  
/\/^= j  
仿真干涉條紋 [G|.  
I </P_:4G  
fI)XV7,X  
走進(jìn)VirtualLab Fusion hI86WP9*  
}MRgNr'k  

圖片:1-191209152K5539.png

+QFKaS<sn  
hc|A:v)]  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ~{Iw[,MJ  
&IUA[{o~e  
•設(shè)置輸入場(chǎng) =IMmtOvJ  
−基本光源模型[教程視頻] |:R\j0t  
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 $k\bP9  
•定義元件的位置和方向 k2D*`\ D  
− LPD II：位置和方向[教程視頻] .Od:#(aq  
•正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡 {S=<(A@  
−非序列追跡的通道設(shè)置[用例] F+H]{ss>  
•使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化 ^@V*:n^  
−參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例] 0vqH-)}  
9A.NM+u7  

圖片:1-191209152Tb56.png

*LB-V%{|'  
arm_SyL0  
VirtualLab Fusion技術(shù) s=jmvvs_V}  
]"T157F