1.摘要
p)&Yr [N=v=J9 白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀
系統(tǒng)和一個氙燈
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等
光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。
PNgdWf3 *@+E82D >U7{EfUJdx 5Z]]xR[ 2. 建模任務(wù)
6B8gMO ,SV34+( {e]ktj#+{ +H**VdM6s 3. 干涉條紋的變化
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fj]Q n[E/O}3& / |#i|BVnoE n.l7V<1 4. 走進VirtualLab Fusion
Od]B;&F (qyT,K8 UlD]!5NO +3d.JQoKl 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
!,Uzt1K: 4NK{RN3 "K)ue@? )<K3Fz
Bs 6. VirtualLab Fusion 技術(shù)
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