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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 04-11
    摘要 " Lh&s<[  
    <5? pa3  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡光線和場(chǎng)追跡分析。通過(guò)場(chǎng)追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場(chǎng),也可以深入研究矢量效應(yīng)。 -&COI-P8  
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