具有直壁或傾斜側(cè)壁的二元
光柵已成為許多
光學應用中的關(guān)鍵部件。 感謝
納米壓印技術(shù),使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。
VirtualLab Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA)和不同的
優(yōu)化算法,為二元光柵提供了完整的用戶友好的設計工作流程,和隨后的制造誤差分析,如圓邊效應。
c1<jY~U :H/Rhx= 高效偏振無關(guān)透射光柵的分析與設計 8Rnq
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i 我們演示了如何嚴格分析二元光柵的偏振相關(guān)特性; 以及如何優(yōu)化二元
結(jié)構(gòu)以獲得高偏振無關(guān)的
衍射效率。
VqS1n ufN`=IJ% 傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與公差分析 L(}/W~En {w]L'0ES[ SKo*8r 利用傅立葉模態(tài)法(FMM)優(yōu)化傾斜光柵,以實現(xiàn)將光耦合到波導中的高衍射效率。 分析制造公差,如圓形邊緣。