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    [技術(shù)]構(gòu)造二維周期性光柵結(jié)構(gòu) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 05-06
    復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應(yīng)用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion 軟件用傅立葉模態(tài)法(FMM,或者RCWA)一種簡易的仿真方法來嚴(yán)格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面,可以設(shè)置堆棧的幾何圖形,從而生成復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
    • 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類型 − 基于界面定義的類型 o7$'cn  
    • 計(jì)算之前修改高級選項(xiàng)和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。 [C'JH//q*t  
    • 提示:在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中,表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的,層狀光柵(一維周期性)被稱作二維光柵。 R#I0|;q4|p  
    \pVXimam  
    初始化光柵工具箱 <_-hRbS  
    • 初始化 NGbG4-w-  
    − 開始菜單欄 (Start) | AozR ~  
    光柵菜單欄(Grating)  Ys\Wj%6A  
    通用光柵光路圖(三維光柵) General Grating Light Path   Diagram(3D Gratings) qHrc9fB  
    • 提示:對于特殊類型的光柵,例如柱形光柵, tIuCct-  
    可以在光柵工具箱中直接點(diǎn)擊柱形光柵光路 ):[7E(F=  
    圖(三維光柵)(Pillar Grating Light 32`{7a3!=  
    Path Diagram(3D Gratings)) ]jo1{IcI  
    IhVO@KJI  
    設(shè)置光柵結(jié)構(gòu) N u<_}  
    I+tb[*X+  
    • 首先,需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。 )% ~OH  
    • VirtualLab中光柵結(jié)構(gòu)在堆棧(stack) 中定義。 : qd`zG3  
    • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時(shí)添加堆棧(stack)。
    bAx-"Lu  
    • 例如,圖中在前表面添加了堆棧(stack)。 oY933i@l)P  
    基于材料定義光柵的類型(例程: 柱形光柵) K/|Z$4S  
    堆棧編輯器 FG.em  
    Q$zO83  
    在堆棧編輯器(Stack Editor)中,界面和材料可以從中目錄(catalog) 中添加。 aWR}R>E  
    • 為了用一種特殊的介質(zhì)定義光柵,需要添加兩個(gè)平面界面,作為介質(zhì)的邊界。 Hl{S]]z  
    .K1FKC$C  
    兩個(gè)平面之間的介質(zhì)類型可以是均勻介質(zhì)(homogenous)或者調(diào)制介質(zhì)(modulated)。 ;wz^gdh;  
    • 使用調(diào)制介質(zhì),就可以非常有效地描述復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu),如柱形光柵。
    柱形光柵介質(zhì) Z$/xy"  
    ,F,X ,  
    • 在目錄類別中LightTrans預(yù)設(shè)(LightTrans Defined)下柱形介質(zhì)類(pillar media)中可以添加鉻柱(Chromium Pillars)。 8Dj c c z  
    • 這種介質(zhì)可以仿真柱形結(jié)構(gòu)或者在基底表面打孔的結(jié)構(gòu)。 n[lJLm^(_C  
    • 此例程中,矩形排布的金屬鉻圓柱位于熔融石英基底表面。 hEKf6#  
    • 在堆棧編輯器的視圖中,不同材料根據(jù)折射率的高低表示為不同深淺的顏色 u>2 l7PA|  
    (顏色越深,折射率越高)。 < HVl(O  
    • 注意:堆棧編輯器固定顯示x-z平面的橫截面視圖。
    RO 4Z?tz  
    b4[bL2J$h1  
    • 請注意:界面添加的順序固定由基底表面開始算起。 LG9+y  
    • 選中的界面會以紅色突出顯示。 A#EDk U,  
    • 此外,無法在此處定義光柵前面的介質(zhì)(指 old(i:2  
    最后一個(gè)界面后的介質(zhì))。它會自動從光柵部件前面的材料中提取。 J  IUx  
    • 可以在光學(xué)參數(shù)設(shè)置編輯器(Optical Setup Editor)中更改這處材料。
    y1dDO2mA  
    ,-8"R`UI8  
    • 堆棧周期(Stack Period)可以控制整個(gè)結(jié)構(gòu)的周期。 n\*!CXc  
    • 對于二維周期性光柵,必須在x和y方向分別定義周期。 /_I]H  
    • 該周期也是FMM算法的周期邊界條件。 1g8_Xe4  
    • 對于簡單的光柵結(jié)構(gòu),建議選擇與介質(zhì)周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 選項(xiàng),并選擇合適的周期性介質(zhì)的序號。 UC]\yUK1J  
     
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