復(fù)雜
光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應(yīng)用于
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion
軟件用傅立葉模態(tài)法（FMM,或者RCWA）一種簡(jiǎn)易的
仿真方法來(lái)嚴(yán)格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面，可以設(shè)置堆棧的幾何圖形，從而生成復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
• 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類(lèi)型 − 基于界面定義的類(lèi)型
z( ajR*\# • 計(jì)算之前修改高級(jí)選項(xiàng)和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。
i0P+,U • 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱(chēng)作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱(chēng)作二維光柵。
CY:pYke= l @Ki`if 初始化光柵工具箱
gSC@uf • 初始化
PQK_*hJG" − 開(kāi)始菜單欄 (Start)
; ?rW`e2 光柵菜單欄(Grating)
%bsdC0xM 通用光柵光路圖（三維光柵） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
U{x'@/Ld • 提示：對(duì)于特殊類(lèi)型的光柵，例如柱形光柵，
0\m zGfd 可以在光柵工具箱中直接點(diǎn)擊柱形光柵光路
u32<=Q[ 圖（三維光柵）(Pillar Grating Light
^ey\ c1 K Path Diagram(3D Gratings))
IH0Uq_ I9MI}0}7 設(shè)置光柵結(jié)構(gòu)
4eKJ\Q=nX5 rEViw ?^KT • 首先，需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。
<[q )2 5RL • VirtualLab中光柵結(jié)構(gòu)在堆棧(stack) 中定義。
OJ 2M_q)e • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時(shí)添加堆棧(stack)。
T:-Uy&pBEN • 例如，圖中在前表面添加了堆棧(stack)。
1~*_H_Q't 基于
材料定義光柵的類(lèi)型（例程： 柱形光柵）
=:b/z1-v 堆棧編輯器
o
2DnkzpJ 6QV/8IX 在堆棧編輯器(Stack Editor)中，界面和材料可以從中目錄(catalog) 中添加。
q"Xls( • 為了用一種特殊的介質(zhì)定義光柵，需要添加兩個(gè)平面界面，作為介質(zhì)的邊界。
G{J9F b8 :sn}D~ 兩個(gè)平面之間的介質(zhì)類(lèi)型可以是均勻介質(zhì)(homogenous)或者調(diào)制介質(zhì)(modulated)。
/v8qT'$^ • 使用調(diào)制介質(zhì)，就可以非常有效地描述復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)，如柱形光柵。
柱形光柵介質(zhì)
^b%AwzHH} UeRenp • 在目錄類(lèi)別中LightTrans預(yù)設(shè)(LightTrans Defined)下柱形介質(zhì)類(lèi)(pillar media)中可以添加鉻柱(Chromium Pillars)。
aCMcu\rd • 這種介質(zhì)可以仿真柱形結(jié)構(gòu)或者在基底表面打孔的結(jié)構(gòu)。
V}(%2W5X+ • 此例程中，矩形排布的金屬鉻圓柱位于熔融石英基底表面。
jJf|Ok:G{ • 在堆棧編輯器的視圖中，不同材料根據(jù)
折射率的高低表示為不同深淺的顏色
xW09k6 （顏色越深，折射率越高）。
G0^PnE0- • 注意：堆棧編輯器固定顯示x-z平面的橫截面視圖。
_E~uuFMn*R )y K!EK\ • 請(qǐng)注意：界面添加的順序固定由基底表面開(kāi)始算起。
.1}u 0IbJ • 選中的界面會(huì)以紅色突出顯示。
/eE P^)h • 此外，無(wú)法在此處定義光柵前面的介質(zhì)（指
NO<myN+N 最后一個(gè)界面后的介質(zhì)）。它會(huì)自動(dòng)從光柵部件前面的材料中提取。
9uq|
VU5 • 可以在
光學(xué)參數(shù)設(shè)置編輯器(Optical Setup Editor)中更改這處材料。
LR^b?.#> "ZH1W9A
