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    [技術(shù)]二元光柵設(shè)計(jì)流程 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 05-29
    具有直壁或傾斜側(cè)壁的二元光柵已成為許多光學(xué)應(yīng)用中的關(guān)鍵部件。 感謝納米壓印技術(shù)，使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。 VirtualLab Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法（FMM，也稱為RCWA）和不同的優(yōu)化算法，為二元光柵提供了完整的用戶友好的設(shè)計(jì)工作流程，和隨后的制造誤差分析，如圓邊效應(yīng)。 kmlO}0  
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    高效偏振無(wú)關(guān)透射光柵的分析與設(shè)計(jì) qI tbY%  
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    我們演示了如何嚴(yán)格分析二元光柵的偏振相關(guān)特性; 以及如何優(yōu)化二元結(jié)構(gòu)以獲得高偏振無(wú)關(guān)的衍射效率。 KG96;l@'(  
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    傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與公差分析 7fd,I%