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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2024-06-24

鍍膜設(shè)備，光馳OTFC，工藝條件：Ta2O5+SIO2, 溫度：320℃，射頻源

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離線ouyuu

只看該作者 1樓發(fā)表于: 2024-07-15

兩個(gè)可能。1，離子源的中和電流不夠，導(dǎo)致膜內(nèi)有電荷積聚，調(diào)大中和電流試試。
2，片子洗凈的問(wèn)題，鍍前用離子源多轟一下，看看有沒(méi)有改善。

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