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- 注冊時間2020-06-19
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摘要 ^{E_fQJX c5[~2e 可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運行結(jié)合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描,以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 ;BHIss7 :`4LV NpGz y`&b 傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) +>%AG&Pc bW3Ah?0N 建模任務(wù) i}))6 ^vOEG;TR<- e.!~7c_z? =v{ R(IX% 單次FMM仿真結(jié)果 KkR.p,/ V:g
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