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    [技術(shù)]使用傅里葉模態(tài)法分析閃耀光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 07-10
    摘要 'PvOOhm,  
    >^~W'etX|  
    可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運行結(jié)合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描,以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 8x`E UJ  
    5F78)q u6N  
    v.6K;TY.  
    傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) Vv&GyqoO]  
    1>=]lMW  
    建模任務(wù) j,79G^/YG  
    h:=W`(n5u  
    n`X}&(O  
    ce<88dL  
    單次FMM仿真結(jié)果 l+#uQo6cqQ  
    4*&2D-8<K  
    #|QA_5  
    U?xa^QVhj  
    參數(shù)掃描(1D) ,Ma%"cWVC  
    Ly-}HW