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UID:317649
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- 注冊時間2020-06-19
- 最后登錄2024-11-15
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摘要 9 %.<V_$ q.hc%s2? 可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運行結(jié)合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描,以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 X7B)jH%N aK=3`q ~ dI&> CL 傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) i6\!7D] V2sB[Mw 建模任務(wù) Le$u$ulS 1 0Tg> H i!+3uHWu`) p/^\(/\]) 單次FMM仿真結(jié)果 N\?Az668? m^u&g&^ ?}>Z_ (" \5pAG
mgD 參數(shù)掃描(1D) < $?}^
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