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摘要 e2;19bj& z}yntY]n 參數(shù)的系統(tǒng)性變化對復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)的詳細(xì)研究具有重要意義。VirtualLab Fusion允許通過所謂的參數(shù)運行功能來實現(xiàn)參數(shù)的變化。通過使用參數(shù)運行,可以根據(jù)分析任務(wù)的需求任意配置這些變化。此外,特殊的可編程模式允許自由配置,以提供完全可自定義的參數(shù)變化。通過實例介紹了該可編程模式的應(yīng)用。 EUmQn8 U/Z!c\r 5 |{0|mP ry3;60E\) 參數(shù)運行的初始化 :gVz}/C.@ Z<K[ zm\=4^X X !NH?0) 參數(shù)的選擇和變化范圍 d4/snvq EU
TTeFp 在第二頁,必須選擇參數(shù)運行的模式 o\1"ux;b 在下表中,可以選擇所需的變化參數(shù),以及相應(yīng)的變化范圍和變化步數(shù) Yn[y9;I{ 在這個例子中,矩形光柵的周期和高度是變化的 /!oi`8D N \[Cuh8Fe $}2m%$vJO _sbZyL 參數(shù)運行的自定義 .RH}/D cIK-VmO / _-?NZ c^}gJ 參數(shù)運行的自定義 <a2t"rc -o6K_R}R 在下一頁,顯示了配置的參數(shù)運行的迭代 ny'~pT'00 }4ijLX>b B4pheKZ2 prb;q~ 參數(shù)運行的設(shè)置 -lRXH7|X 接下來,對于參數(shù)運行的所有模式,必須選擇所需的仿真引擎和/或分析器。 7=u\D 在本例中,只使用了光柵級次分析器 KR%p*Nh+C v$p<6^kJ pY!@w0. P )_g t 參數(shù)運行的設(shè)置 iW+ZI6@ 然后單擊Go開始計算 w'~f Z* 計算完成后,所有結(jié)果如下表所示。 0Q_AF`" POfvs] Ti#2D3
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