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摘要 k\%v;3nBK !QS<;)N@ 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數。 ymX,k|lh 4F6o
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5d+ M 光柵詳細說明 Wj=ex3K3u. NP*0WT_gB
E2kRt'~N 't.F.t •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 mJR
T+SZ •可以在堆棧中指定光柵參數,并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數。 >D62l*V
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