摘要 Y~RZf /`  
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測(cè)量的技術(shù)。 通過(guò)利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長(zhǎng)度差在相干長(zhǎng)度內(nèi)時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測(cè)量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測(cè)量表面平滑變化的樣品。 Bx(+uNQ  
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建模任務(wù) E(G=~>
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仿真干涉條紋 uCK!lq-  
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走進(jìn)VirtualLab Fusion PVO9KWv**  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 #
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•設(shè)置輸入場(chǎng) oWyg/{M  
−基本光源模型[教程視頻] b*Ipg8n+  
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 ,IUMH]D  
•定義元件的位置和方向 w8%yX$<  
− LPD II：位置和方向[教程視頻] o*n""m  
•正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡 rO
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−非序列追跡的通道設(shè)置[用例] hk ./
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•使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化 9BANCW"  
−參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例] :kZ2N67  
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VirtualLab Fusion技術(shù) fJv0 B*  
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