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一.光刻技術(shù)簡(jiǎn)介

光刻是在集成電路制造過(guò)程中非常重要的步驟，是制造芯片的核心設(shè)備。
芯片的復(fù)雜細(xì)微三維結(jié)構(gòu)就是通過(guò)光刻機(jī)把掩膜的圖形轉(zhuǎn)印到光刻膠上，再通過(guò)刻蝕工藝轉(zhuǎn)移到硅片上。

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