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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 07-29
    摘要 f hr QJ  
    0^&-j.9  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 ;Fm7!@u^0  
    ^`oyf{w@  
    [78^:q-/0  
     Ce_E S.  
    建模任務(wù) Tjza3M  
    GJ4R f%  
     X2hyxTOp  
    RS[>7-9  
    入射平面波 [5TGCGxP{  
    波長 2.08 nm YCEdt>5PA  
    光斑直徑： 3mm KcNh3CR  
    沿x方向線偏振 1<d|@9?9`  
    B]|"ePj-  
    如何進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的光線追跡分析？ )%]`uj>*[  
    如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？ Q{+N{/tF  
    uO;_T/^u  
    概覽 8.4+4Vxh   
    •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 'J"m`a8no  
    •接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。 UFY_.N~  
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