如何將光聚焦到一個越來越小的光斑上，是光學領(lǐng)域中一直存在的問題，特別是最近，已發(fā)展出各種旨在深聚焦光的方法。研究高數(shù)值孔徑條件下的光聚焦通常需要全矢量電磁仿真技術(shù)。我們使用VirtualLab Fusion軟件演示了不同偏振態(tài)(如徑向)和孔徑形狀(如環(huán)形)對聚焦區(qū)域電磁場的影響，這種分析既可以用理想透鏡，也可以用具有明確結(jié)構(gòu)和材料信息的真實透鏡進行。 )N2yhdcqI -K/ ' }I 用消球差透鏡對各種偏振光束進行深聚焦 c" J(? 1O
D] 2+<;>`> VirtualLab Fusion中的消球差透鏡模型，為分析具有不同形狀孔徑的各種偏振矢量場的聚焦效果，提供了一種簡便的方法。 s^9N7'
z@ A5t4+3 分析高NA物鏡聚焦
w|PZSOJ f |FQd3o) 高NA物鏡廣泛應(yīng)用于光刻、顯微等領(lǐng)域。在對這種聚焦系統(tǒng)的仿真中，考慮光的矢量特性是非常重要的。 \o@b5z ]e
