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摘要 <2}"Y(zwKl )Qw|)='- 通常,計(jì)算模型中假設(shè)的理想化結(jié)果明顯偏離現(xiàn)實(shí)。 其中一個(gè)例子是在蝕刻結(jié)構(gòu)中具有尖銳邊界的微結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì):制造技術(shù)不能實(shí)現(xiàn)完美的銳利壁,而是產(chǎn)生更圓的邊緣。 該可編程模塊應(yīng)用于所設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的銳利結(jié)果,根據(jù)用戶指定的值對(duì)其邊緣進(jìn)行圓整,以便分析更真實(shí)的結(jié)構(gòu)。 wUh'1D<(r 0t/
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