光柵布局在大多數(shù)情況下是周期性
結(jié)構(gòu)。OptiFDTD中有兩種實(shí)現(xiàn)周期性布局的方法:PBG編輯器和VB腳本。本課將重點(diǎn)介紹以下功能:
?)mhJ/IT •使用VB腳本生成光柵(或周期性)布局。
0i*'N ch#i •光柵布局
模擬和后處理分析
nRXSW&V"m 布局layout
~S^X"8(U 我們將模擬如圖1所示的二維光柵布局。
d]7|v
r] 圖1.二維光柵布局
=l8!VJa 9jMC|oE 用VB腳本定義一個(gè)2D光柵布局
G=C5T( RF4$ 步驟:
2&gd"Ak( 1 通過在
文件菜單中選擇“New”,啟動(dòng)一個(gè)新項(xiàng)目。
P('t6MVlT 2 在“Wafer Properties”對話框中設(shè)置以下
參數(shù) I>H;o{X# Wafer Dimensions:
b@wBR9s Length (mm): 8.5
," C[Qg( Width (mm): 3.0
)pjjW"C+ b$?Xn