在衍射分析模式下，使用遠場方程計算衍射光。強度是根據(jù)穿過材料的輸出光的E場之和計算得出的 j"~"-E(79  
遠場衍射：光源和屏幕之間的距離較遠。假定光源為平面波。 B<BS^waU  
它在分析光柵結(jié)構(gòu)波束控制或智能窗口應(yīng)用時非常有用。 2Cy,#X%j>  
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1. 建模任務(wù)  D~"a"  
1.1分析不同電壓下的衍射強度 l:@=9Fp>  
1.2堆棧結(jié)構(gòu) 6;Z`9PGp  
2. 建模過程 OT$Ne  
2.1結(jié)構(gòu)生成，其中將光學(xué)求解器設(shè)置為“Diffraction” zMp