摘要 ( ?/0$DB  
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非傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射角度相當(dāng)大，元件的特征尺寸與光的波長相近。因此，通常使用的傍軸建模方法變得不準(zhǔn)確，需要嚴(yán)格的技術(shù)。因此，在這個例子中，迭代傅里葉變換算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光學(xué)元件（DOE）的初步設(shè)計，并且之后使用傅里葉模式方法（FMM）也稱為嚴(yán)格耦合波分析（RCWA）進(jìn)行嚴(yán)格的性能評估，包括在高度變化的情況下對優(yōu)點函數(shù)變化的研究。 4uftx1o   
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任務(wù) f "&q~V4?  
• 使用傍軸近似（TEA）進(jìn)行衍射1:7×7光束分束器的初步設(shè)計，用于結(jié)構(gòu)設(shè)計部分。 }?fa+FQGp  
• 使用嚴(yán)格分析（FMM/RCWA）對性能進(jìn)行分析和進(jìn)一步優(yōu)化，以提高均勻性并評估零階的影響。 KFfwZkj{  
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模擬與設(shè)置：工具簡介與整體流程概覽 (QRl -| +  
連接建模技術(shù)：衍射光束分束器 /Hx0=I  
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通過配置助手和IFTA進(jìn)行相位設(shè)計 GUp51*#XR  
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將傳輸函數(shù)轉(zhuǎn)化為結(jié)構(gòu) ~o2{Wn["  
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衍射光束分束器表面 M^[jA](a  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM )xK!i.  
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