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摘要 /eH37H }:c~5whN 當(dāng)用近軸光照明時(shí),亞波長(zhǎng)光柵僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級(jí),因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場(chǎng)將由另一個(gè)高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對(duì)亞波長(zhǎng)光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。 BXU0f%"8U ()Kaxcs?+ Ul/m]b6- ,LxZbo! 1. 建模任務(wù) 8g!79q\c4 LH_H
yP_ Cy uRj[;B '}(>s%~ 2. 結(jié)果 ;z9,c c8[kL$b;j A|1xK90^XT !9NF@e'&! K/Yeh<_& q
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