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    [求助]如何降低薄膜吸收？ [復制鏈接]

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    離線guji2015
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 10-16
    關鍵詞： 膜層薄膜
    做的一個氧化鉿單層的材料實驗，開了離子源輔助，鍍出來發(fā)現(xiàn)膜層吸收較大。請教一下各位大佬，為降低吸收，工藝該從那些方面調(diào)整？ .s8u?1b  
    E# UAC2Q  
    5xIOi(3`Q  
     
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    離線度魔銀
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 10-16
    1.溫度是不是300度，離子源充氧過大也會吸收
    離線度魔銀
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 10-16
    離子源清洗，不開源鍍，基板加溫300℃-350℃，恒溫一小時鍍膜，材料充氧10sccm,此參數(shù)僅供參考
    離線度魔銀
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 10-16
    補充一下，速率控制在2.0A/左右