測量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1)
B~RVFc + $&Ntdn 應用示例簡述 y7quKv7L} =-e`OHA 1. 系統(tǒng)說明 ,33[/j 8AK=FX&@&
光源 8i=c|k,GL. — 氦氖
激光器(波長632.8nm;相干長度>1m)
ju-tx
: 元件
Oist>A$Z — 分束器和合束器,消色差準直
透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測球面透鏡
5mxYzu;#] 探測器
axSJ:j8 — 干涉條紋
oXef<- : 建模/設計
dp3>G2Yq —
光線追跡:初始系統(tǒng)概覽
Nj<}t/e — 幾何場追跡加(GFT+):
J.r^"K\ 計算干涉條紋。
a9ko3L 分析對齊誤差的影響。
:4f>S)m 9BJP|L%q 2. 系統(tǒng)說明 Be=J*D!E=> 參考光路 #JFTD[1 
Y%FQ]Q=+ iz&$q]P8 3. 建模/設計結(jié)果 f.%mp$~T
%MQU&H9[ ;wi}6rF%[i 4. 總結(jié) G^`IfF-j GESEj%R/b 馬赫澤德干涉儀的干涉圖樣的計算
i:6`Rmz1. F3XB}; 1. 仿真
"%o,P/<X 以光線追跡對干涉儀的仿真。
'@$YX*[ 2. 計算
/!l$Y? 采用幾何場追跡+引擎以計算干涉圖樣。
eD4qh4|u. 3. 研究
-K 7jigac 不同對齊誤差在干涉圖上的影響,如傾斜和偏移
! z^%$;p IMKyFp]h- 利用VirtualLab軟件可對馬赫澤德干涉儀生成的干涉圖案進行研究分析。
PJq;OM| 應用示例詳細內(nèi)容 Fgf5OHX
系統(tǒng)參數(shù) </UUvMf"
|\?mX=a.y 1. 仿真任務:馬赫澤德干涉儀 TY(B]Q_o 6zmt^U 通過使用這種干涉儀設置,可測量兩完全相同光束線間的相對相移。
,f4VV\ Rqi=AQ 這使得可以對一個樣品元件引起的相移進行研究。
kYlsjM $2p=vi3 2. 說明:光源 {`FkiB` i toq/G,N Q 81gcM? 使用一個頻率穩(wěn)定、單模氦氖
激光器。
k`l={f8C 因此,相干長度大于1m
ewo]-BQS 此外,由于發(fā)散角很小,所以不需要額外的準直系統(tǒng)。
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