摘要 /g7?,/vnZ X35U!1Y\ 建模結(jié)果與測量數(shù)據(jù)的比較對于任何
光學元件的設(shè)計過程都非常重要。因此,有必要將測量到的高度剖面(例如微
結(jié)構(gòu)的高度剖面)導入建模
軟件,以評估真實元件的性能。因此,在本文檔中,我們將展示如何使用位圖文件導入高度數(shù)據(jù)。
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lO 簡介 2/q=l?
q;~>h &_hCs![ 步驟 1
v!9Imf - 使用Import功能將位圖圖像文件作為Data Array導入。
;<R_j%* 步驟 2
ga9:*G!b{) - 設(shè)置數(shù)據(jù)
陣列的坐標、插值和外推法。
tBUQf*B 步驟 3
x`l;
; - 設(shè)置數(shù)據(jù)陣列的物理屬性。由于默認的長度單位是米,因此一定要指定一個合適的系數(shù)來表示微結(jié)構(gòu)的高度。
8mddI 步驟 4
]+7c1MB(5 - 檢查導入數(shù)據(jù)陣列的高度值,并通過Manipulation菜單進行調(diào)整(例如,應用常數(shù)乘法)。
zFQkUgb 步驟 5
;@s~t:u - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
Ou,_l 步驟 6
l#.,wOO{ - 將導入的數(shù)據(jù)陣列加載到采樣界面
-{SiK M:f=JuAx 步驟 7 .