摘要 ?%,LZw^[  
直接設(shè)計(jì)非近軸衍射分束器仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大，元件的特征尺寸與工作波長在相同的數(shù)量級上。因此，設(shè)計(jì)過程超出了近軸建模方法。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴(yán)格的性能評估。 78l);/E{v  
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使用近軸近似的衍射1：7×7分束器的初步設(shè)計(jì)，通過嚴(yán)格分析，進(jìn)一步優(yōu)化零階均勻性和影響 z|pt)Xl  
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光柵級次分析模塊設(shè)置 ZID-