摘要 ?Y!^I2Y6 直接設(shè)計非近軸
衍射分束器仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大，元件的特征尺寸與工作
波長在相同的數(shù)量級上。因此，設(shè)計過程超出了近軸建模方法。因此，在這個例子中，迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計
結(jié)構(gòu)，和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴(yán)格的性能評估。
"8t\MKt( /W9
& Ke 設(shè)計任務(wù) %AgA -pBp 9UmBm #" ;vUxO<cKFq 使用近軸近似的衍射1：7×7分束器的初步設(shè)計，通過嚴(yán)格分析，進一步
優(yōu)化零階均勻性和影響
("F)
&
>b+loF 光柵級次分析模塊設(shè)置 |B|@G F?: nhT;b,G.Z 使用常規(guī)的分束器會話2編輯器，VirtualLabFusion提供了一個指導(dǎo)工具，允許用戶一步一步地指定所有影響分束器設(shè)計的
參數(shù)。
o>K &D$J;O #L1>dHhat 1. 通過應(yīng)用設(shè)計帶中的結(jié)構(gòu)設(shè)計，所得到的傳輸函數(shù)可以轉(zhuǎn)換為結(jié)構(gòu)輪廓。
u[mY!(>nQ 2. 對于此轉(zhuǎn)換，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的結(jié)構(gòu)與初始相位函數(shù)成正比。
4@~a<P# 3. VirtualLab Fusion提供計算出的形式已經(jīng)預(yù)設(shè)在光路中。
5\?3$<1 I 4. 要在不同的
模擬場景中使用這種結(jié)構(gòu)，需要從組件內(nèi)部獲取實際的采樣表面或指定的堆棧。
V(I7*_ZFl 衍射分束器表面 @{bb'q['@ 為了進一步評估，使用了通用光柵
光學(xué)設(shè)置，其中加載之前保存的堆棧。光柵光學(xué)裝置提供了獨特的工具、組件和分析儀，以進一步研究給定周期結(jié)構(gòu)的特性和性能。
9i[4"&K d "!yD/RD 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) \CtQ*[FmN $/.<z(F 一般光柵組件提供了薄元近似(TEA)和傅里葉模態(tài)方法(FMM)作為解決模型給定的光柵。
7%tR&F -u 薄元近似通常產(chǎn)生更快的結(jié)果，當(dāng)結(jié)構(gòu)小于波長的5倍,可能有精度問題，。
0&B : \ 傅里葉模態(tài)方法允許一個嚴(yán)格的模擬，但需要更高的數(shù)值計算。
{0fz9"|U #ZF>WoC@e? 光柵級次和可編程光柵分析儀 8qmknJC Lv3XYZgW~ w #<^RKk 設(shè)計與評估結(jié)果 n`QO(pZ6+ 相位功能設(shè)計
1(# RN9 結(jié)構(gòu)設(shè)計
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