摘要 aYmN'
POi L?&Trq7i *eEn8rAr 對于許多
光學應用來說,抑制元件表面的反射是一個引人關注的問題。一種非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
納米和微米
結構,這些結構受到自然界(如蛾眼)的啟發(fā)。這些結構的特征尺寸處于亞
波長領域,具有獨特的波長和
角度依賴性質(zhì)。本文介紹了在
VirtualLab Fusion中分析和設計確定性抗反射結構的方法。
na`8ulN_ e_h`x+\: 設計任務 /ReOf<%B y**>l{!! b8O }XB 連接建模技術:蛾眼結構 vO
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S7B3= 光柵階數(shù)分析器 PBY;SG~ k:0nj!^4w> 3FQXp 元件內(nèi)場分析器:FMM >U#j\2!Sg Pm=i(TBS/ OlcWptM$ 參數(shù)運行 FNHJHuTe nK>D& S_! "o>` Y 參數(shù)優(yōu)化 &m~ p8X$yv KKGwMJku} 模擬結果 ]%<0V,G
q dx)v`.%V 通過計算器進行參考測量 E[8i$ qYbPF|Y=Z J?[}h&otQ 結構內(nèi)的場 be(p13&od f'& &aWY{ ?_ qy,X#y'FuE 在參數(shù)空間中掃描以獲取初始解決方案 Mw{skK>b *rmwTD" W}.p,