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Zemax光學(xué)設(shè)計從入門到精通	Zemax光學(xué)設(shè)計從基礎(chǔ)到實踐	成像衍射光學(xué)元件設(shè)計及應(yīng)用	現(xiàn)代光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨(dú)家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計與光學(xué)元件	計算光學(xué)帶來的成像革命

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[求助]AR膜中間脫膜 [復(fù)制鏈接]

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離線飛奔的牛

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 01-22

6層膜，GE/ZNS/ GE/ZNS/ GE/ZNS,膜層在ZNS之后鍍GE脫膜，晶圓經(jīng)過劃成小片，邊緣出現(xiàn)中間膜層脫膜。想求助一下是什么原因
目前懷疑是ZNS+GE之間膜層結(jié)合力不好

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