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    [討論]非接觸式加工能否成為藍(lán)寶石超精密制造的終極答案？——離子束VS飛秒激光技術(shù)對比 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 02-05
    技術(shù)背景 4Z9 3 g {  
    隨著極紫外光刻（EUV）、空間激光通信等領(lǐng)域的精度需求逼近物理極限，傳統(tǒng)接觸式加工已難滿足需求。本文對比兩種前沿工藝：     }2A1Yt:^P  
    1. 反應(yīng)離子束刻蝕（RIBE） 'sBXH EZA]  
    • 優(yōu)勢： U(=9&c@]  
      各向異性刻蝕（縱橫比>10:1），適合微棱鏡陣列加工
    • 原子級去除（0.1nm/cycle），理論面型精度可達(dá)λ/50
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