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    [求助]光學薄膜實際膜厚測量 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 前天 09:07
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    關(guān)鍵詞: 薄膜鍍膜材料曲線
    鍍的AR膜,想要測試薄膜的實際鍍膜厚度和實際的材料折射率;實際鍍膜厚度使用的臺階儀進行測量的,但測量出來的曲線不理想,差距也很大,想問下大家都是用的什么設備來測試的啊~ HHqwq.zIy  
    本來是準備實際膜厚出來以后再用橢偏儀測試實際的材料折射率的,結(jié)果第一步就卡住了~ *%KKNT'*  
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 前天 11:31
    鍍厚一點的單層然后測,再和水晶膜厚比對一下。 %e&9.  
    %v2R.?F8  
    實際上層和層之間是有過渡的, F[ewn/]n  
    層開始和結(jié)束的時候因為速率不穩(wěn)會也導致折射率變化。 %,ngRYxT#  
    所以求個大概就可以了。 [5Lz/ix=  
    離線morningtech
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 前天 13:14
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    版主說的對,先做單層膜。 LY-2sa#B$-  
    用光譜儀測光譜,然后用光學薄膜軟件模擬出折射率和厚度。大多數(shù)這樣做。 >ooZj9:'  
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 前天 13:52
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:鍍厚一點的單層然后測,再和水晶膜厚比對一下。
    實際上層和層之間是有過渡的, 5L!y-3  
    層開始和結(jié)束的時候因為速率不穩(wěn)會也導致折射率變化。 7nuU^wc  
    所以求個大概就可以了。 h*v8#\b$J_  
    ....... (2025-02-20 11:31)  nvPwngEQm  
     =kuMWaD  
    我是做的單層膜,多個樣,厚度從薄到厚(從幾十到數(shù)百納米),因為我擔心隨厚度的加厚差異值是不是呈線性關(guān)系; )P+7PhE{J  
    所以不用考慮線性非線性影響,鍍單層較厚的膜做比較對比就可以了是嗎
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 前天 13:57
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:版主說的對,先做單層膜。