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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-06-15
    紫外激光切割Si片的實驗研究，樓祺洪 章琳 葉震寰 董景星 魏運榮 H9XvO  
    <*ZJaBwWU~  
    中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所 ^n Jyo:DO;  
    !^#jwRpeN  
    摘要：報道了用193nm準(zhǔn)分子激光切割硅片的實驗結(jié)果。采用柱透鏡光學(xué)系統(tǒng)及“熱劈裂法”獲得小于15μm的切縫及小于5μm的切面不平整度。 ^FmU_Q0  
    gN8hJG'0  
    關(guān)鍵詞：紫外激光；激光切割；硅片
    附件設(shè)置隱藏，需要回復(fù)后才能看到
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-06-17
    多謝啦，不錯的論文。
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2007-06-17
    謝謝啦，下了。
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2007-06-17
    收下了，多謝。
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2009-08-05
    多謝啦，不錯的論文。
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2009-08-13
    收下了，多謝。
    離線xieyifeng
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2010-05-04
    fghfghfhfghfh
    離線lw890720
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2010-07-02
    多謝樓主
    離線khwonthy
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2010-07-18
    謝謝樓主。想學(xué)習(xí)一下。
    離線唐亮
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2010-07-20
    多謝樓主